该文件由XX公司提供，详细介绍了洁净室系统的各个方面，包括洁净室的维护结构、暖通空调及自控系统等。文件中还涉及了洁净室的业务模式、服务架构、控制目标和要素，以及洁净度等级和相应的国际标准对比。此外，还详细介绍了洁净室的围护结构，如墙板、顶板、门、窗等的设计和特点，并讨论了地面材料选择、连接件和附件等细节。
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洁净室系统详解–洁净室各主要系统图文讲解（89P）
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